流量控制器采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實現(xiàn)微小流量測量和控制，其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
 

　　流量控制器的操作規(guī)程：
 

　　接通電源后，先預(yù)熱15分鐘，再通氣工作，以保證測量的準(zhǔn)確度。LF系列氣體質(zhì)量流量控制器切忌液體和油污，不能使用在液體介質(zhì)中工作，只能使用在氣體工作介質(zhì)中。且氣體必須是潔凈、干燥的，沒有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈，一旦被污染，將嚴(yán)重影響產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。
 

　　若流量設(shè)定使用外部信號，應(yīng)將設(shè)定選擇開關(guān)打至“外”，并從顯示儀上的外控信號插座接入設(shè)定信號和“0電平”(信號地)上即可。也可直接與計算機(jī)的D/A轉(zhuǎn)換器連接，實現(xiàn)自動控制。注意，流量設(shè)定的輸入阻抗大于10KΩ。若用戶檢測流量輸出信號時，將線引至外控信號插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也可直接與計算機(jī)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接，5.00vdc輸出電壓或者20mA輸出電流對應(yīng)MFC滿量程額定流量值。注意，流量檢測輸出電流負(fù)載能力不得大于3mA。當(dāng)閥開關(guān)置于“閥控”位時，此時可通過“設(shè)定信號”正常控制氣體質(zhì)量流量。在LF-SXV系列流量顯示儀上，確保打“閥控”位置，即閥控線懸空時，此時也可通過外控信號插座上的“閥控制”線控制閥門。閥控線接+15V時，閥門關(guān)閉；閥控線接-15V時，處于清洗狀態(tài)；閥控線懸空時，閥門處于自動控制狀態(tài)。
 

　　關(guān)機(jī)斷電源后，氣流自動截止。推薦先關(guān)氣，后斷電源。